速度
微型傳感器有測量平移和旋轉運動速度兩種,但大多數情況下,只限于測量旋轉速度。利用位移的導數,特別是光電方法讓光照射旋轉圓盤,檢測出旋轉頻率和脈沖數目,以求出旋轉角度,及利用圓盤制成有縫隙,通過二個光電二極管辨別出角速度,即轉速,這就是光電脈沖式轉速微型傳感器。
加速度微型傳感器是一種能夠測量加速度的微型傳感器。通常由質量塊、阻尼器、彈性元件、敏感元件和適調電路等部分組成。微型傳感器在加速過程中,通過對質量塊所受慣性力的測量,利用牛頓第二定律獲得加速度值。根據微型傳感器敏感元件的不同,常見的加速度微型傳感器包括電容式、電感式、應變式、壓阻式、壓電式等。
機器人要想做到如人類般的靈敏,視覺微型傳感器、聲覺微型傳感器、距離微型傳感器、觸覺微型傳感器、接近覺微型傳感器、力覺微型傳感器、滑覺微型傳感器、速度和加速度微型傳感器這8種微型傳感器對機器人極為重要,尤其是機器人的5大感官微型傳感器是必不可少的,從擬人功能出發,視覺、力覺、觸覺最為重要,目前已進入實用階段,但它的感官,如聽覺、嗅覺、味覺、滑覺等對應的微型傳感器還等待一一攻克。