微型傳感器疏察，被愚鈍的機器人

“一點點壓力就能產生匹配的電流。”在加了形容詞后，這個轉變困難了一些，西北工業大學副教授楊鵬飛解釋，要靈敏地捕捉到“一點點”的輸入，并給微型傳感器出嚴格匹配的輸出。“需要穩定、精確的輸出，并且消除不同‘維’間的耦合干擾。”東南大學教授宋愛國的進一步闡釋意味著這種轉變難上加難。這個信號轉變的穩定實現，讓巴掌大小的日本陣列式產品即便賣到10萬元，也能在科研和產業市場占盡先機。“靠進口”是科技日報記者日前多方調查該產品消費者的一致答案。

行業內，工藝不過關

精確、穩定的嚴苛要求，攔住了我國大部分企業向觸覺微型傳感器邁進的步伐，目前國內微型傳感器企業大多從事氣體、溫度等類型微型傳感器的生產。在一個有著100多家企業的行業中，幾乎沒有微型傳感器制造商進行觸覺微型傳感器的生產。

“我們曾委托深圳的一家企業制作陣列式觸覺微型傳感器，但因為工藝不過關，產品的一致性比較差，微型傳感器陣列中點與點的性能無法做到一樣。”宋愛國的經歷可能并不是個例。

“我們的大部分關鍵零部件都是國外進口。”國內某知名機器人制造企業負責人表示，包括觸覺微型傳感器、減速器在內的國內產品，在穩定性、一致性方面不太過關。

“微型傳感器用國外進口的。”楊鵬飛所在的生命科學院，通過對骨骼等的研究進行仿生機器的生產，以用于航天或工業輔助用途。“這些仿生機器會在很嚴苛的環境下工作，對零部件的要求很高。”

可見，對賣方而言，工藝門檻太高；對買方而言，國產貨沒有保障。“一個向左、一個向右”的局面，形成了依賴進口、內生乏力的惡性循環。

行業外，材料不夠純

除了生產工藝，材料純度也是從實驗室到工業生產的“扼咽之處”。

“導電橡膠、導電塑料、碳納米管、石墨烯等都是可用作觸覺微型傳感器的材料。”宋愛國說，國內的材料質量、生產水平并不穩定，“石墨烯的生產應該還可以，但是用石墨烯制作微型傳感器的技術還不成熟”。

為了獲得高品質的材料，宋愛國實驗室會自己用導電膏制作符合標準的導電橡膠。導電橡膠通過將玻璃鍍銀、鋁鍍銀、銀等眾多導電顆粒均勻分布在硅橡膠中制成。擠壓可以讓導電顆粒相互連接，從而產生電流。分布越均勻，電流產生與壓力的關系越有規律。

技術復雜，另一道坎

日漸復雜的技術也讓國產產品落得越來越遠。

一片巴掌大小的日本陣列式微型傳感器售價10萬元，并能保持嚴格的均一、穩定性。而國內產品多為一點式的，一般100元一個。

宋愛國介紹，日本陣列式微型傳感器能在10厘米×10厘米大小的基質中分布100個敏感元件，由于襯底柔軟，對不同方向力的計算以及力之間耦合干擾的消除使得敏感元件越多、相互之間的距離越短，越難做到準確地輸出。日本在產業化方面較為領先，其他國家大多處于實驗室階段。

此外，每個敏感元件的受力維度也增加了技術的復雜性，施力有六個維度（X、Y、Z軸3個方向，以及對應的力矩方向），維度之間的耦合干擾如何消除也是需要在基礎研究上發力的環節。“著名的波士頓動力翻跟頭機器人用的僅是三維的觸覺微型傳感器。”宋愛國說。

有布局，但轉化難推進

我國在觸覺微型傳感器的一種——多維力微型傳感器的研究方面，很早就進行了布局。宋愛國介紹，1987年東南大學和中國科學院合肥機械智能研究所獲得863重點專項的支持，研制六維力微型傳感器。“靜態精度已經達到誤差率僅為1％—2％，和世界先進水平差不多。”宋愛國坦言，但是動態精度還需進一步攻關，動態耦合誤差在5％—10％左右，“例如尚未達到有高速打磨任務的工業機器人的使用要求”。

但是，從成本上看，“目前的工業機器人平均造價是12萬元左右，一個六維力微型傳感器成本就要3萬余元，目前的國內工業機器人市場還不具備規模化生產這一產品的條件。”宋愛國說。相較而言，美國ATI工業自動化公司的相關產品，成本已下降到每個2—3萬元。